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集成电路应用

1、12寸芯片, 3nm-28nm;
2、VOC, SO2, H2S, Cl-, Ammonia, MDS, O3, 等气体过滤;
3、建厂时洁净室的初期气体清理;
4、外气MOU气体分子过滤;
5、FFU 化学滤网过滤;
6、机台上的设备气体过滤;
7、面板厂曝光机的过滤机, 保护镜头。



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